给出一个长度为n的序列 $a_1,a_2...a_n$。求构造出一个序列 $i_1 < i_2 < ... < i_k(1\le{k}\le{n})$ 使得 $a_{i_1}\&a_{i_2}\&...\&a_{i_k}=0$。求方案数模 $10^9+7$。

也就是从$\{a_i\}$ 里面选出一个非空子集使这些数按位与起来为0。